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聚焦离子束-电子束双束电镜(SOLARIS GMH)试运行公告

太阳成集团tyc33455cc|(首頁)欢迎您科研公共服务条件平台聚焦离子束-电子束双束电镜(SOLARIS GMH)的主要功能已经基本调试完成。受疫情影响,能谱附件将会在近期安装。为早日满足校内师生的测试需求,本台电镜即日起对校内开放试运行,欢迎校内师生预约测试!

一、基本参数

型号:SOLARIS GMH

厂家:捷克泰思肯(TESCAN)公司

SEM分辨率:0.6 nm @ 15 kV;0.9 nm @ 1 kV

STEM探测器分辨率:0.5 nm @ 30 kV

放大倍数:2 x - 2,000,000 x

电子枪加速电压:0.2 - 30 kV

电子枪探针电流:2 pA - 400 nA

SEM-FIB重合点的统计学分辨率:≤ 2.5 nm @ 30 kv

离子枪加速电压:0.5 - 30 kv

离子枪探针电流:1 pA - 100 nA

样品室:340 mm (φ) x 315 mm (h)

样品台:5轴计算机控制优中心全自动马达驱动样品台X = 130 mm;Y = 130 mm;Z = 90 mm;T = -60° - 90°;R = 360°连续旋转

能谱仪:EDAX SIN窗口70 mm2能谱仪(Octane Elite Super)

能谱仪能量分辨率(Mn-Ka)优于127 eV

二、应用领域

聚焦离子束-电子束双束电镜(SOLARIS GMH)具有较高分辨率,能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理,可对材料进行微纳米表征、微纳加工和TEM样品定点制备等。该电镜广泛用于金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、生物学、医学、考古和文物鉴定分析。此外,近期配备能谱仪(EDS)之后,还可用于样品表面和一定深度的元素定量、定性分析,多元素面扫描和线扫描分布测量。

预约请登录:http://facility.whu.edu.cn

地点:太阳成集团tyc33455cc|(首頁)欢迎您尖端科技楼101D

联系人

张老师18239942652

李老师13277058601

周老师15327286040


发布单位: 科研公共服务条件平台

发布日期: 2022-04-17

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